南韩媒体 The Elec 报导,三星计划使用背面供电网络 (BSPDN) 技术用于 2 纳米芯片。研究员 Park Byung-jae 在日前举行的三星技术论坛 SEDEX 2022 介绍 BSPDN 细节。从过去高 K 金属栅极技术到 FinFET,接着迈向 MBCFET,再到 BSPDN,FinFET 仍是半导体制程最主流技术,之前称为 3D 晶体管,是 10 纳米等级制程关键,三星已转向发展下一代 GAAFET。
三星未来藉小芯片设计架构,不再单个芯片应用同节点制程技术,可连结不同代工厂、不同节点制程各种芯片模块,也称为 3D-SOC。BSPDN 可解释成小芯片设计演变,原本将逻辑电路和存储器模块整合的现有方案,改成正面具备逻辑运算功能,背面供电或讯号传递。
BSPDN 并不是首次出现,概念于 2019 年 IMEC 研讨会就出现过,到 2021 年 IEDM 论文又再次引用。2 纳米制程应用 BSPDN 后,经后端整合设计和逻辑最佳化,可解决 FSPDN 的前端布线壅塞问题,性能提高 44%,功率效率提高 30%。